الاخرق هو واحد من التقنيات الرئيسية لإعداد مواد الأغشية الرقيقة. يستخدم أيونات ينتجها مصدر أيون لتسريع التراكم في الفراغ ، وتشكيل شعاع أيوني عالي السرعة ، وقذائف سطح صلب ، وتبادل الطاقة الحركية بين الأيونات والذرات على سطح صلب ، بحيث تترك الذرات على سطح صلب تترك سطحًا صلبًا وتتراكم على سطح القاعدة وتعرض للقصف. المادة الصلبة الناضجة هي المادة الخام لإعداد الأغشية الرقيقة المودعة ، والتي تسمى هدف الإراقة.
Appliction
تستخدم الأهداف المتقشرة بشكل أساسي في الصناعات الإلكترونية والمعلومات ، مثل الدوائر المتكاملة ، وتخزين المعلومات ، وشاشة العرض البلورية السائلة ، وذاكرة الليزر ، وأجهزة التحكم الإلكترونية ، إلخ. كما يمكن استخدامها في مجال الطلاء الزجاجي ، والمواد المقاومة للتآكل ، عالية درجة الحرارة المقاومة للتآكل ، ومنتجات الديكور عالية الجودة وغيرها من الصناعات.
تصنيف
حسب الشكل ، يمكن تقسيمه إلى هدف مربع ، هدف دائري وهدف غير طبيعي.
وفقا للتكوين ، يمكن تقسيمها إلى هدف معدني ، هدف سبيكة و هدف مركب السيراميك.
وفقًا لحقل التطبيق ، يمكن تقسيمه إلى هدف إلكتروني دقيق ، هدف تسجيل مغناطيسي ، هدف CD-ROM ، هدف المعدن الثمين ، هدف مقاومة الأغشية الرقيقة ، هدف فيلم موصل ، هدف معدّل السطح ، هدف قناع بصري ، هدف طبقة زخرفية ، هدف قطب كهربائي والهدف التعبئة والتغليف والهدف الآخر.
المواد المعدنية عالية النقاء وحتى فائقة النقاوة هي أساس إنتاج مواد مستهدفة عالية النقاء. على سبيل المثال ، إذا أخذنا محتوى الشوائب في المواد المستهدفة غير المرغوب فيها مرتفعًا للغاية ، فلن يتمكن الفيلم الذي تم تشكيله من تلبية الأداء الكهربائي المطلوب ، ويتم تشكيل الجزيئات بسهولة على الرقاقة أثناء عملية التفاخر ، مما يؤدي إلى حدوث ماس كهربائي. أو فقدان الدائرة. سيئة ، تؤثر تأثيرا خطيرا على أداء الفيلم.
