هل تفهم هدف البلبلة؟
متطلبات الأداء الرئيسية للمادة الهدف المستهدفة:
نقاء
يعد Purity أحد مؤشرات الأداء الرئيسية للمواد Supttering Target ، لأن نقاء المادة المستهدفة له تأثير كبير على أداء الفيلم. ومع ذلك ، في التطبيقات العملية ، تختلف متطلبات نقاء المواد المستهدفة.
محتوى النجاسة
الشوائب في المواد الصلبة المستهدفة والأكسجين والماء في الثغور هي مصادر التلوث الرئيسية للأغشية الرقيقة المودعة. تتضمن الأهداف لأغراض مختلفة متطلبات مختلفة لمحتويات الشوائب المختلفة. على سبيل المثال ، فإن أهداف الألمنيوم النقي وسبائك الألومنيوم المستخدمة في صناعة أشباه الموصلات لها متطلبات خاصة لمحتوى المعادن القلوية والعناصر المشعة.
كثافة
من أجل تقليل المسامية في صلب الهدف وتحسين أداء الفيلم المتقطع ، عادة ما يكون مطلوبًا أن يكون للهدف كثافة عالية. لا تؤثر الكثافة المستهدفة على معدل الإراقة فحسب ، بل تؤثر أيضًا على الخصائص الكهربائية والبصرية للأفلام. كلما زادت الكثافة المستهدفة ، كلما كانت خصائص الأفلام أفضل. بالإضافة إلى ذلك ، فإن زيادة كثافة وقوة الهدف يمكن أن تجعل الهدف يتحمل بشكل أفضل الضغط الحراري في عملية التفاخر. تعد الكثافة أيضًا أحد مؤشرات الأداء الرئيسية للمواد المستهدفة.
حجم الحبوب وتوزيع حجم الحبوب
عادة ، تكون المادة المستهدفة متعددة الكريستالات ، ويمكن أن يتراوح حجم الحبوب من ميكرون إلى ملليمتر. بالنسبة للهدف نفسه ، يكون معدل التفلخ للهدف بالحبوب الناعمة أسرع من الهدف بالحبوب الخشنة ، كما أن توزيع سمك الفيلم المودعة بواسطة الهدف مع اختلاف حجم الحبوب الصغير (توزيع متساوي) يكون أكثر اتساقًا.
تتمتع شركتنا بخبرة سنوات عديدة في إنتاج وبيع هدف الموليبدينوم ، هدف التيتانيوم ، هدف التنتالوم وهدف النيوبيوم ، وقد أشاد بها العملاء الأوروبيون والأمريكيون.
التعبئة

معلومات للتواصل:
البريد الإلكتروني: mail@refrachina.com
العنوان: جناح A2202-03 ، مبنى تشجيانغ الدولي للمعارض ، طريق يانتشان ، شيان
710061، الصين
هاتف: 86-29-85325399
الفاكس : 029-85325610







